目前国内外的空分设计者都在致力于研发并提供一种新型高纯氮设备，包括预处理系统，纯化系统和分馏塔，其中的分馏塔包括透平膨胀机，用于热交换的主换热器和过冷器，以及精馏塔和冷凝蒸发器;精馏塔包括上塔和下塔。所研发的新型制氮装置使得富氧和氮气的冷量得到充分利用，节能环保;同时将富氧送入膨胀机进行制冷，结构合理、节约物料，流程配置简单。以下就高纯氮设备的流程设计作一综述：